電子潔凈廠房化學品回收系統(tǒng)及設備
發(fā)布者：翼展凈化工程公司瀏覽次數(shù)：發(fā)布時間：2023-07-12
在電子工業(yè)潔凈廠房中，以芯片制造、平板顯示器件制造為代表的生產過程需用多種化學品，尤其是芯片生產過程所需的化學品 （包括特種氣體）都要求非常高的純度和特殊的反應機理，晶圓越大，潔凈度要求越高，產品生產所消耗的各種品種化學品總計的成本就高，據(jù)有關資料介紹化學品的成本占晶圓總制造的成本達 40%；雖然不同的產品生產工藝具有各自的特點，但是都需設置不同的化學品回收系統(tǒng)，據(jù)了解，化學品回收系統(tǒng)有回收利用、收集委托處理和回收處理后排放等方式?；瘜W品回收系統(tǒng)應根據(jù)排出;廢液的不同性質確定，不得將可能發(fā)生化學反應的兩種或多種化學品合并為一個系統(tǒng)進行回收。在集成電路芯片工廠和液品顯示器面板工廠內的化學品回收系統(tǒng)均連續(xù)不間斷地收集和處理從產品生產過程排放的化學品廢液。
化學品廢液回收系統(tǒng)按其物化性質分別收集和處理，如有機廢液回收系統(tǒng)--從生產設備連續(xù)排出的異丙醇、剝離液、光刻膠經(jīng)過管道排放到廢液回收儲罐，等待處理；酸堿回收處理系統(tǒng)從生產設備排放的酸堿廢液、氨水廢液等經(jīng)過管道排放至回收罐，一般經(jīng)中和處理達到排放標準后排放；在平板顯示器件的制造過程中使用的鋁（AD、鉻(Cr)的刻蝕液屬于重金屆廢液，一般也是經(jīng)管道排放至回收儲罐，等待處理等；化學品廢液收集后應嚴格按化學品類別回收利用或委托專門企業(yè)處理或回收處理達到排放標淮后排放等。據(jù)了解，在集成電路芯片工廠光刻膠、剝離液一般是委托有資質的廠家進行處理后再利用，在芯片工廠內設有回收儲罐及其管路系統(tǒng)，從生產工藝設備排放的廢液通過重力流至收集回收儲罐，定期由泵抽送至液體槽車外送至處理工廠
①化學品回收儲罐一般設在潔凈廠房內的輔助生產區(qū)，并宜采用集中布局的方式，但溶劑化學品回收系統(tǒng)應與酸堿化學品回收系統(tǒng)分區(qū)域設置?；瘜W品回收用桶罐的儲存容量宜大于或等于7天的廢液量，回收桶槽應設置備用桶槽，桶槽數(shù)量不得少手2支；并設有桶槽自動切換裝置，按桶槽的液位計實現(xiàn)自動切換，回收桶槽的液位計應有高位指示、報警和聯(lián)鎖功能
②化學品回收系統(tǒng)的設備應設置在防護堤內，防護堤的容積應大于防護堤內較大回收儲罐的單罐容積；防護堤內應設有泄漏皮液收集溝，并應在收集溝內設置廢液收集池；對于不同性質的化學品回收桶槽應布置在不同的防護堤，避免因泄漏排人的兩種或兩種以上的化學品發(fā)生化學反應引發(fā)事故。化學品回收系統(tǒng)的桶槽等設備的材質選用應與相應的化學品供應系統(tǒng)的要求相同。
③潔凈廠房中化學品回收系統(tǒng)管道的布置應滿足產品生產操作、設備管道安裝及維護檢修的要求，一般化學品回收管道均采用架空敷設，通常按化學品回收系統(tǒng)的流向自上而下通過重力流至回收桶罐，若排放的生產設備與化學品回收系統(tǒng)之間無法實現(xiàn)重力流排放時，應按廠房內設備．管道的實際布置狀況增設中間儲罐，并從中間儲罐采用泵抽送化學品廢液至化學品回收系統(tǒng)的回收儲罐，化學品回收系統(tǒng)管道的設置，管道及附件的材質選用等均與相應的化學品供應系統(tǒng)的要求相同
